本装置采用常温分子净化空气，增压透平膨胀机制冷；采用规整填料技术及全精馏制氩的外压缩流程。
原料空气在过滤器中除去了灰尘和机械杂质后，进入空气压缩机压缩至0.62MPa，然后进入空气冷却塔进行预冷。空气冷却塔的给水分为两段，冷却塔的下段使用经水处理冷却过的循环水，而冷却塔的上段则使用经水冷却塔冷却后的低温水。空气冷却塔顶部设置旋风分离器及丝网除雾器，防止水分带出并除去空气中的机械水滴。