ESD危害是静电源产生的电能作用到或过于接近ESDS（静电敏感元器件）元件（或整机设备）所导致的结果。使电子器件性能退化或功能失效。
1.静电的三种危害方式
1.1 吸附尘埃
静电吸附尘埃对微电子生产业影响很大，在现代大规模集成电路(LSI)生产中，芯片的线宽已达到0.1μm，如果其产生静电则对几～几十微米的尘埃吸附作用明显。