本方案为***半导体气体项目压缩机安装方案，共包括供气压缩机（RC0500）、氮气压缩机（RC3700）、RC0590（增压空压机）、RC2600（主氧压机）4台压缩机的安装。由于目前图纸资料不全，本方案有待图纸完全后进一步完善。